真空拡散接合では、接合する金属部品をまず真空チャンバーに入れて真空環境を作り出します。次に、金属は加熱システムによって融点を超えて加熱され、部分的または完全に溶融します。次に、溶融金属の表面に蒸気が発生し、蒸気分子が真空中を自由に拡散します。
